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激光干涉仪调光步骤及技巧 一、线性测量 光学组件：分光镜一只，反射镜两只。 测量原理：线性位置精度（或速度）的测量必须具有一个光学元件相对于另一个光学元件间的相对运动。线性位置精度（或速度）通过XL80激光头的干涉条纹计数电路来确定两个光学元件间的距离变化（或距离变化速率），并与被测机器的光栅读数尺相比较来确定精度误差。 光学器件安装： 1、水平轴测量光学器件的安装布局。（干涉镜或者反射镜移动，反射镜作移动光学元件的测量范围是40m，干涉镜作移动光学元件的测量范围是15m。） 2、垂直轴测量光学器件的安装布局。（反射镜移动） 线性测量光路校准步骤：先近后远，近调上下左右，远调俯仰扭摆。 1、架设好激光头后，先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中，再将激光头调至水平，在激光头上安装好标准光闸。 2、将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置，调节干涉镜与反射镜之间的相对位置，使反射回来的两束光线完全重合，调节三角架使重合后的反射光线进入回光孔，保证五个光强指示灯全亮。此处请勿大范围调节激光头上的俯仰和扭摆旋钮，仅限微调。 3、将线性干涉镜与测量反射镜距离最远，根据近、远端光线照射的位置，可判断出激光头发出光线的倾斜方向，扭摆三角架使激光头向倾斜方向的相反方向扭摆，再平移三角架使激光大致照射在干涉镜正中偏上1/2处。查看光闸，若无两束光线返回，则继续扭摆和移动三角架，直至两光点出现，并使两光点相距较近。 4、微调俯仰、扭摆，使两束反射光线完全重合。 5、通过升降三角架和调节激光头的左右位置，使重合后的反射光束射入回光孔。 6、查看五个光强指示灯是否全亮，若无，请重复步骤2~5，直至近、远两端位置，五个光强指示灯全亮。 7、安放补偿元件，进行线性测量。 二、直线度测量 光学组件：直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只。 测量原理：激光头的输出光束穿过直线度干涉镜后，被分裂成两束夹角较小的光束，这两束光成一个微小的角度。然后，经直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干涉镜，该两束光束在直线度干涉镜处汇合成一束光束，并返回激光头的回光孔。直线度测量是通过检查干涉镜和反射镜的相对横向位移引起的光程差来实现的，直线度测量可以在水平面或垂直面内进行，它取决于直线度干涉镜和直线度反射镜的定位方向。 光学器件安装：
短距离直线度测量，行程近端时固定光学元件与移动光学元件之间的距离至少为0.1m，而长距离直线度测量时该距离最少为1m。 垂直直线度偏差测量光路校准步骤： 1、放置好激光头，安装好直线度光闸。 2、将干涉镜表面旋转90度（小孔在右边），借助直线度干涉镜上的小光孔将激光近、远两端拉直。 3、放置直线度反射镜，检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶，光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧，只调节直线度反射镜，使激光正对光靶小光孔。 4、将干涉镜旋转90度，去除光靶。细微旋转干涉镜表面使反射回光闸的两束光线聚焦，调节直线度反射镜上旋钮将汇合后的光束对准直线度光闸的回光孔。 5、检查激光头，近、远两端光强是否一致。（可微调俯仰、扭摆、左右，寻找返回光束光强最大位置。） 6、人工去除斜率误差。祥见雷尼绍校准产品培训教材4.2章节。 三、垂直度测量 光学组件：光学直角尺一只、垂直转向镜一只、直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只、回射反射镜一只。 测量原理：沿着两条标称相互垂直的轴，利用一个共同的基准，分别进行直线度测量，从而测量其垂直度。通常，这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，在两次直线度测量期间，即不能移动（相对于工作台），也不能调整反射镜。这两次直线度测量，至少有一次是利用光学直角尺完成的。 光学器件安装：
（请注意回射反射镜的放置方向。）
垂直轴与水平轴之间的垂直度测量光路校准步骤（光线横向水平射出并返回）： 一号光靶位于垂直转向镜的入光侧，二号光靶位于回射反射镜上，三号光靶位于光学直角尺入光侧中心刻度线处，请注意光靶小光孔的朝向。 1、右进左出，调节三角架，拉直激光，近、远端对正一号光靶。近端上下、左右调节，远端扭摆、俯仰调节。 2、将激光对准二号光靶，近端前后、左右位置调节，远端调节垂直转向镜的旋钮。 3、拆除一、二号光靶，调节激光头上下、左右位置，将激光对准三号光靶，调好近、远端。 4、安装直线度反射镜，在直线度反射镜的第二、四格分别安装好光靶，光靶上光孔的位置与光学直角尺的射出光线的位置相对应。 5、人工去除斜率误差。祥见雷尼绍校准产品培训教材4.2章节。 A、由光学直角尺射出经直线度反射线返回的两条光线若不在同一法线上，需旋转主轴上安装在回射反射镜中的干涉镜进行调节。 b、消除斜率过程中，若大范围调节直线度反射镜旋钮都无法将斜率消除，可微调激光头的扭摆和俯仰（调光时，观察在光学直角尺与直线度反射镜上的光点是否中心对称）。
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发表于 2014-8-27 16:44:18
